● 各種功能薄膜：如具有吸收、透射、反射、折射、偏振等功能。例如，在低溫下沉積氮化硅減反射膜以提高太陽能電池的光電轉換效率。

● 微電子：可作為非熱鍍膜技術，主要用于化學氣相沉積（CVD）。

● 裝飾領域的應用：如各種全反射膜和半透明膜；比如手機殼、鼠標等。

● 一些不適合化學氣相沉積（MOCVD）的材料可以通過磁控濺射沉積，這種方法可以獲得均勻的大面積薄膜。

● 機械工業：如表面功能膜、超硬膜、自潤滑膜等。這些膜能有效提高表面硬度、復合韌性、耐磨性和高溫化學穩定性，從而大大提高產品的使用壽命。

● 光領域：閉場非平衡磁控濺射技術也已應用于光學薄膜（如增透膜）、低輻射玻璃和透明導電玻璃。特別是，透明導電玻璃廣泛應用于平板顯示器件、太陽能電池、微波和射頻屏蔽器件和器件、傳感器等。